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       真空鍍膜機(jī)是用于在真空條件下進(jìn)行薄膜沉積的設(shè)備，其結(jié)構(gòu)形式多種多樣，以適應(yīng)不同的作業(yè)場(chǎng)景和基片類型。以下是真空鍍膜機(jī)的幾種常見結(jié)構(gòu)形式：

       立式真空鍍膜機(jī)是一種常見的結(jié)構(gòu)形式，它由鍍膜室、真空泵系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。鍍膜室通常為圓柱形或方形，內(nèi)部裝有加熱裝置和冷卻系統(tǒng)，以控制鍍膜過程中的溫度。它適用于在平面基片上進(jìn)行薄膜沉積，如光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓等。

       臥式真空鍍膜機(jī)是另一種常見的結(jié)構(gòu)形式，它與立式真空鍍膜機(jī)的主要區(qū)別在于鍍膜室的形狀和布局。它的鍍膜室通常為長(zhǎng)方體形狀，內(nèi)部裝有多個(gè)蒸發(fā)源和靶材，可以實(shí)現(xiàn)多層層疊鍍膜。它適用于在大面積基片上進(jìn)行薄膜沉積，如太陽(yáng)能電池板、平板顯示器等。

       連續(xù)式真空鍍膜機(jī)是一種自動(dòng)化程度較高的真空鍍膜設(shè)備，它可以在連續(xù)生產(chǎn)線上進(jìn)行薄膜沉積。它通常由多個(gè)鍍膜室、輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成，可以實(shí)現(xiàn)高效、穩(wěn)定的薄膜沉積。它適用于大規(guī)模生產(chǎn)中的薄膜沉積，如塑料薄膜、金屬箔等。

       除了以上幾種常見的結(jié)構(gòu)形式外，還有一些特殊結(jié)構(gòu)的真空鍍膜機(jī)，如旋轉(zhuǎn)式、折疊式等。這些真空鍍膜機(jī)具有特定的結(jié)構(gòu)和功能，適用于特定的作業(yè)場(chǎng)景和基片類型。