磁控濺射鍍膜設(shè)備
鍍膜行業(yè)的鍍膜原理和流程是很復(fù)雜的,整個(gè)鍍膜流程也是很周密。因?yàn)槿魏我粋€(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)問(wèn)題,都會(huì)造成后期膜層的質(zhì)量問(wèn)題因此,真空鍍膜機(jī)鍍膜原理和流程,是眾多商家關(guān)注的問(wèn)題。
真空鍍膜機(jī)真空管鍍膜的原理是電子在電場(chǎng)的作用下加速飛向基片的過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氫離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。
二次電子在加速飛向基片的過(guò)程中受到磁場(chǎng)洛侖磁力的影響,被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi),該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高,二次電子在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng),該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長(zhǎng),在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材,經(jīng)過(guò)多次碰撞后電子的能量逐漸降低,擺脫磁力線的束縛,遠(yuǎn)離靶材,沉積在基片上?,F(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜,解決了過(guò)去自然蒸發(fā)無(wú)法加工的膜體品種,如鍍鈦鍍錯(cuò)等等。